Příklady protiopatření v polovodičovém průmyslu a výrobě LCD

Prevence statické elektřiny při testování substrátových disků

  • Elektrostatická destrukce

Spolehlivá eliminace statické elektřiny v prostředí testování substrátových disků může být zajištěna instalací zpětnovazebního senzoru v blízkosti objektu, který umožní neustále monitorovat oblast objektu.

Eliminace statické elektřiny při odlupování ochranné fólie ze substrátových disků

  • Elektrostatická destrukce
  • Ulpívání cizorodých částic

Statická elektřina může být rychle eliminována v široké oblasti. Při identifikaci příčiny problémů může pomoci zaznamenávání výsledků eliminace statické elektřiny při odlupování.

Prevence statické elektřiny při lepení matric

  • Elektrostatická destrukce

Použití vysokorychlostní eliminace statické elektřiny k zabránění vzniku výbojů při uvolňování matrice pomáhá omezit nutnost údržby, která by jinak u konvenčních zařízení byla nezbytná.

Ochrana proti elektrostatického výboje a zajištění kvality u testovacích manipulátorů

  • Elektrostatická destrukce

Díky vysoce přesné iontové rovnováze ±1 V lze zařízení bezpečně používat na jakémkoli pracovišti výroby polovodičů. V případě problému lze také z předchozích výsledků eliminace statické elektřiny identifikovat období, kterých se to týkalo.

Eliminace statické elektřiny při vidlicovém přenášení skla z tekutých krystalů

  • Ulpívání cizorodých částic

Bezvzduchové a energeticky úsporné ionizátory pomáhají omezovat spotřebu vzduchu v závodu a zároveň zajišťují vysoce efektivní eliminaci statické elektřiny.

Eliminace statické elektřiny u vzduchových sprch

  • Ulpívání cizorodých částic

Instalace ionizátorů v místnostech se vzduchovými sprchami – kde je riziko vnesení cizorodých částic do čisté místnosti nejvyšší – pomáhá zlepšit účinnost odstraňování prachu.