3D lézeres, konfokális pásztázó mikroszkóp

VK-X sorozat

Ez a modell megszűnt.
A tanúsítási szabványnak való megfelelés a társaságunktól történő szállítás idején biztosított.

Mérőegység VK-X160K

VK-X160K - Mérőegység

*Felhívjuk figyelmét, hogy a képen látható tartozékok csak illusztrációs célokat szolgálnak, és nem feltétlenül tartoznak a termékhez.

Adatlap (PDF)

  • CE Marking
  • CSA

Specifikációk

modell

VK-X160K

Teljes nagyítás

Legfeljebb 19200×*1

Látómező (minimális tartomány)

16–5400 µm

Képfrissítés

Lézeres mérési sebesség

4–120 Hz 7900 Hz*2

Mérési elvek

Optikai rendszer

Nyílásos konfokális optikai rendszer

Magasság mérése

Lineáris skála

5 nm

Ismételhetőség σ

20×: 40 nm, 50×: 20 nm, 100×: 20 nm*3

Memória Z-tengely méréséhez

1,4 millió lépés

Pontosság

0,2 + L /100 µm vagy jobb*4*5

Szélesség mérése

Kijelzési felbontás

10 nm

Távolságmérés

Ismételhetőség 3σ

20×: 100 nm, 50×: 50 nm, 100×: 30 nm*3

Szélesség mérése

Pontosság

±2%*3

XY asztali konfiguráció

Manuális: működési tartomány

70 mm × 70 mm

Motorizált: működési tartomány

50 × 50 mm, 100 × 100 mm*6

Megfigyelés

Maximális rögzítési felbontás

3072×2304

Súly

Mikroszkóp

Kb. 25 kg (szenzorfej nélkül: kb. 8,5 kg)

Vezérlő

Kb. 11 kg

*1 23 hüvelykes monitorral.
*2 Maximális sebességen a mérési mód/mérési minőség/lencsenagyítás kombinációjának használatakor. Amikor a sorletapogató kamera 0,1 µm mérési távolságon belül van.
*3 A referenciaskála 20-szoros (vagy nagyobb) objektívlencsével való, 20 ± 2 °C-os környezeti hőmérséklet melletti mérése esetén. A VK-X120/X130 kivételével 100× objektívlencsével.
*4 A referenciaskála 20-szoros (vagy nagyobb) objektívlencsével való, 20 ±2 °C-os környezeti hőmérséklet melletti mérése esetén. A VK-X120/X130 kivételével a 100x objektív lencsével.
*5 L = függőleges mérési hossz µm-ben
*6 Mozgó tárgyasztallal.

Adatlap (PDF) Egyéb modellek