Konfokalny mikroskop do skanowania laserowego 3D

Seria VK-X3000

Katalogi Pobierz katalog

Głowica pomiarowa VK-X3100

VK-X3100 - Głowica pomiarowa

*Należy pamiętać, że akcesoria przedstawione na zdjęciu służą wyłącznie do celów ilustracyjnych i mogą nie być dołączone do produktu.

Arkusz danych (PDF)

  • CE Marking
  • CSA

Dane techniczne

Model

VK-X3100

Typ

Głowica pomiarowa

Powiększenie całkowite

Od 42× do 28800×*1

Pole widzenia

Od 11 do 7398 μm

Zasada działania

Metoda laserowa konfokalna, Zmienność ostrości, Interferometria w świetle białym, Interferencja spektralna

Długość fali lasera

Laser półprzewodnikowy, 404 nm

Maks. prędkość pomiaru laserowego

Powierzchnia: 125 Hz, Linia: 7900 Hz*2

Maks. moc wyjściowa lasera

1,0 mW

Klasa lasera

Klasa 2 (IEC60825-1)

Element odbierający światło lasera

16-bitowy fotopowielacz

Źródło światła białego

Biała dioda LED

Element odbierający światło białe

Kolorowa matryca CMOS o wysokiej rozdzielczości

Metoda laserowa konfokalna

Rozdzielczość wyświetlacza wysokości

0,1 nm

Powtarzalność wysokości σ

10×: 100 nm, 20×: 40 nm, 50×: 12 nm

Dokładność wysokości

0,2+L/100 μm lub mniej*3

Rozdzielczość wyświetlania XY

0,1 nm

Powtarzalność szerokości 3σ

10×: 200 nm, 20×: 100 nm, 50×: 40 nm

Dokładność szerokości

Zmierzona wartość ±2% lub mniej*3

Zmienność ostrości

Rozdzielczość wyświetlacza wysokości

0,1 nm

Powtarzalność wysokości σ

5×: 500 nm, 10×: 100 nm, 20×: 50 nm, 50×: 20 nm

Dokładność wysokości

0,2+L/100 μm lub mniej*3

Rozdzielczość wyświetlania XY

0,1 nm

Powtarzalność szerokości 3σ

5×: 400 nm, 10×: 400 nm, 20×: 120 nm, 50×: 50 nm

Dokładność szerokości

Zmierzona wartość ±2% lub mniej*3

Interferometria w świetle białym

Rozdzielczość wyświetlania wysokości

0,01 nm

Rozdzielczość wyświetlania szerokości

0,1 nm

Powtarzalność topografii powierzchni

0,08 nm*4

Powtarzalność RMS

0,008 nm*4

Pomiar grubości folii w interferencji spektralnej

Powtarzalność σ

0,1 nm*4

Dokładność

±0,6%*4

Obserwacja optyczna

Liczba pikseli

5,6 milionów

Rewolwer

Rewolwer elektryczny z 6 otworami

Obiektyw oświetlenia pierścieniowego

2,5×, 5×, 10×

Zoom optyczny

Od 1 do 8×

Konfiguracja podstawy XY

Zakres obsługi ręcznej

70 mm × 70 mm

Zakres obsługi zmotoryzowanej

100 mm × 100 mm

Zasilanie

Napięcie zasilania

Od 100 do 240 VAC, 50/60 Hz

Pobór mocy

150 VA

Odporność na warunki otoczenia

Temperatura otoczenia

Od +15 do +28°C

Wilgotność względna

Od 20 do 80% wzgl. wilg. pow. (brak kondensacji)

Masa

Około 13 kg

*1 W przypadku korzystania z 23-calowego wyświetlacza pełnoekranowego.
*2 Przy najwyższej prędkości przy zastosowaniu kombinacji trybu pomiaru/jakości pomiaru/powiększenia obiektywu. Gdy skok pomiaru skanowania liniowego mieści się w zakresie 0,1 μm.
*3 Podczas pomiaru próbki standardowej za pomocą obiektywu 20× lub większego.
*4 Typowe wartości w domyślnym środowisku pomiarowym.

Arkusz danych (PDF) Inne modele