Konfokální mikroskop s 3D laserovým skenováním

Řada VK-X

Výroba tohoto modelu byla ukončena.
Naše společnost během přepravy zboží zajištuje certifikační standard.

Měřicí jednotka VK-X160K

VK-X160K - Měřicí jednotka

*Vezměte prosím na vědomí, že příslušenství zobrazené na obrázku je pouze ilustrativní a nemusí být součástí produktu.

Datový list (PDF)

  • CE Marking
  • CSA

Specifikace

Model

VK-X160K

Celkové zvětšení

Až 19 200x*1

Zorné pole (minimální rozsah)

16 až 5400 µm

Počet snímků za sekundu

Rychlost laserového měření

4 až 120 Hz, 7 900 Hz*2

Principy měření

Optický systém

Štěrbinový konfokální optický systém

Měření výšky

Lineární stupnice

5 nm

Opakovatelnost σ

20x: 40 nm, 50x: 20 nm, 100x: 20 nm *3

Paměť měření osy Z

1,4 milionu kroků

Přesnost

0,2 + L / 100 µm nebo lepší*4*5

Měření šířky

Rozlišení displeje

10 nm

Opakovatelnost 3σ

20x: 100 nm, 50x: 50 nm, 100x: 30 nm *3

Přesnost

±2 %*6

Konfigurace stojanu XY

Ruční: Provozní rozsah

70 mm x 70 mm

Automatická: Provozní rozsah

50 x 50 mm, 100 x 100 mm*7

Pozorování

Maximální rozlišení snímání

3072×2304

Hmotnost

Mikroskop

Cca 25 kg (bez hlavy senzoru, cca 8,5 kg)

Řídicí jednotka

Cca 11 kg

*1 S 23palcovým monitorem.
*2 Při maximální rychlosti a při použití kombinace režimu měření / kvality měření / zvětšení objektivu. Je-li skenování výrobních linek v rozsahu rozteče měření 0,1 µm.
*3 Při měření referenční stupnice pomocí čočky objektivu se zvětšením 20x (nebo vyšším) při okolní teplotě 20 ± 2 °C. S výjimkou VK-X120/X130 s čočkou objektivu se zvětšením 100x.
*4 Při měření referenční stupnice pomocí čočky objektivu se zvětšením 20x (nebo vyšším) při okolní teplotě 20 ± 2 °C. S výjimkou modelu VK-X120/X130 s čočkou objektivu se zvětšením 100x.
*5 L = svislá naměřená délka v µm
*6 Při měření referenční stupnice s čočkou objektivu se zvětšením 20x (nebo vyšším) při okolní teplotě 20 ± 2 °C. S výjimkou VK-X120/X130 s čočkou objektivu se zvětšením 100x.
*7 S motorizovanou podložkou.

Datový list (PDF) Další modely