Měření profilů hran waferů
-
Odvětví:
- Automobilový průmysl
-
Produkty:
- Měřicí senzory
Měřte profily hran waferů. Uživatelé mohou okamžitě zahájit měření výběrem jednoho z kontrolních nástrojů, např. pro výškový rozdíl / šířku nebo úhel. Pořizování snímku s ultravysokým rozlišením s použitím 3200 bodů/profil umožňuje dosahovat vysoce přesného měření profilů, což bylo v případě konvenčních metod nemožné.
