Multisensor Messmaschine
Modellreihe LM-X
Messkopf Modell mit konfokalem Laser LM-X100L
*Bitte beachten Sie, dass das abgebildete Zubehör nur der Veranschaulichung dient und möglicherweise nicht im Lieferumfang des Produkts enthalten ist.
Technische Daten
Modell | LM-X100L | |||
Typ | Messkopf | |||
Bildsensor | 1", 20-Megapixel-Monochrom-CMOS | |||
Objektiv | Beidseitig telezentrisches Objektiv | |||
Bildgestützte Messung | Bildfeld | Messmodus mit breitem Bildfeld | 325 mm × 175 mm | |
Hochpräziser Messmodus | 306 mm × 156 mm | |||
Anzeigeauflösung | 0,1 μm | |||
Wiederholgenauigkeit | Innerhalb des Bildfelds der Kamera (2 σ) | Messmodus mit breitem Bildfeld | ±0,5 μm | |
Hochpräziser Messmodus | ±0,1 μm | |||
Mit Objekttisch-Verschiebung | X/Y-Achse | ±0,9 μm | ||
X/Y-Ebene | ||||
Messgenauigkeit | Innerhalb des Bildfelds der Kamera (2 σ) | Messmodus mit breitem Bildfeld | ±2 μm *1 | |
Hochpräziser Messmodus | ±0,7 μm *2 | |||
Mit Objekttisch-Verschiebung | X/Y-Achse (EUX,MPE , EUY,MPE) | ±(1,8 + 0,02 L) μm *3 | ||
X/Y-Ebene (EUXY,MPE) | ±(2,8 + 0,02 L) μm *3 | |||
AF-Höhenmessung | Wiederholgenauigkeit | ±2 μm | ||
Messgenauigkeit (EUZ,MPE) | ±(4,8 + 0,04 L) μm *4 | |||
Laser-Höhenmessung | Messbarer Bereich (X/Y) | 239 mm × 146 mm | ||
Anzeigeauflösung | 0,1 μm | |||
Wiederholgenauigkeit | ±0,6 μm *5 | |||
Messgenauigkeit (EUZ,MPE) | ±(4,8 + 0,04 L) μm *4 | |||
Lichtpunktdurchmesser | ø50 μm | |||
Laserklasse | Klasse 1 | |||
Externer Remote-Eingang | Spannungsloser Eingang (mit und ohne Kontakt) | |||
Externer Ausgang | I.O./N.i.O./FEHLGESCHLAGEN/MESSUNG | PhotoMOS-Ausgang | ||
Beleuchtungssystem | Durchlicht | Telezentrische Durchlichtbeleuchtung (grüne LED) | ||
Ring | Mehrfachwinkel-Beleuchtung mit vier Segmenten, (elektrisch, farbige/weiße LED) | |||
Externe Beleuchtungssteuerung | Lichtmengenregelung | PWM-Regelung, 100 kHz | ||
Ausgangsspannung | 12 V DC | |||
Ausgangsstrom | max. 1,6 A | |||
XY-Objekttisch | Verfahrweg | 300 mm × 150 mm | ||
Maximale Gewichtsbelastung | 7 kg | |||
Z-Objekttisch | Verfahrweg | 75 mm (elektrisch) | ||
Netzanschluss | Spannung | 100 bis 240 VAC ±10% (50/60 Hz) | ||
Leistungsaufnahme | max. 150 VA | |||
Umgebungsbeständigkeit | Umgebungstemperatur | +10 bis 35°C *6 | ||
Relative Luftfeuchtigkeit | 20 bis 80% RL (keine Kondensation) | |||
Überspannungskategorie | ll | |||
Verschmutzungsgrad | 2 | |||
Gewicht | Ca. 34 kg | |||
*1 Im Bereich von 20 mm × 20 mm und bei einer Umgebungstemperatur im Betrieb von +23°C ±1°C bei fokussierter Fokuspunktposition. |