Lasermikroskop für Formmessungen VK-X110

Modell

VK-X110

Typ

Mikroskop

Vergrößerung des Objektivs

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 200x

10×

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 400x

20×

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 1000x

50×

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 2000x

100×

Betrachtungs-/
Messbereich

Horizontal (H): μm

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 200x

1350

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 400x

675

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 1000x

270

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 2000x

135

Vertikal (V): μm

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 200x

1012

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 400x

506

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 1000x

202

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 2000x

101

Arbeitsabstand: mm

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 200x

16,5

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 400x

3,1

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 1000x

0,54

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 2000x

0,3

Numerische Apertur (NA)

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 200x

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 400x

0,46

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 1000x

0,8

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 2000x

0,95

Optischer Zoom

1- bis 8x

Gesamtvergrößerung

200- bis 16000fach

Optik für Betrachtung/Messung

Konfokale Optik mit Lochblende

Höhenmessungen

Messbereich

7 mm

Höhenmessung

Z-Auflösung

0,005 µm

Wiederholgenauigkeit σ

0,02 µm^*1

Breitenmessung

Display-Auflösung

0,01 µm

Wiederholgenauigkeit 3σ

0,03 µm^*2

Frame-Speicher

Pixelanzahl

2048 x 1536, 1024 x 768, 1024 x 64

Für Monochrombild

16 Bit

Für Farbbild

Je 8 Bit für RGB

Für Höhenmessungen

21 Bit

Bildfrequenz

Oberflächenabtastung

4 bis 120 Hz

Zeilenabtastung

7900 Hz

Automatik

AAG (automatische Verstärkung), Autofokus, automatische Einstellung des oberen/unteren Grenzwerts, Helligkeitseinstellungen für die Doppelabtastung

Laserlichtquelle für Messungen

Wellenlänge

Roter Halbleiterlaser, 658 nm

Maximale Ausgangsleistung

0.95 mW

Laserklasse

Lasereinrichtung der Klasse 2 (IEC60825-1, FDA (CDRH) Part 1040.10 ^*3)

Lichtempfangselement

PMT (Photoelectron Multiplier Tube)

Lichtquelle für optische
Betrachtungen

Lampe

100 W Halogenlampe

Farbbildkamera für
optische
Betrachtungen

Bildverarbeitungskomponente

1/3"-CCD-Farbbildempfänger

Aufnahmeauflösung

Extrem hohe Auflösung (3072 x 2304)

Automatische Einstellung

Verstärkung, Verschlusszeit

Datenverarbeitungseinheit

Spezieller Computer von KEYENCE mit dem VK-X mitgeliefert (Betriebssystem: Windows 7 Professional Edition) ^*4

Nennwerte

Versorgungsspannung

100 bis 240 VAC ±10 %, 50/60 Hz

Leistungsaufnahme

Max. 450 VA

Gewicht

Circa 25 kg (ohne Messkopf Circa 8,5 kg)