Triple Principle Integrated

Es stehen drei verschiedene Messmethoden zur Verfügung: konfokaler Laser, Fokusvariation und Weißlichtinterferometrie. Die Auswahl der geeigneten Messmethode für das Material und den Messbereich des Objekts gewährleistet eine hochpräzise Auswertung.

Weißlichtinter- ferometrie
Konfokaler Laser
Fokusvariation

Auflösung von bis zu 0,01 nm

Formabweichungen in der Größenordnung von Nanometern können genau gemessen werden.
Selbst herausfordernde Materialien, wie z. B. solche mit transparenten und spiegelnden Oberflächen, können schnell, mit hoher Genauigkeit und über große Flächen gemessen werden.

Schnelle Messung über einen großen Messbereich
Analyse großer Messbereiche

Schnelle Erfassung von Messbereichen bis zu 50 mm × 50 mm, selbst bei Messobjekten mit großen Höhenunterschieden. Somit sind schnelle Analysen sowohl der Gesamtform als auch spezifischer Bereiche möglich.

Hochpräzise Oberflächenerfassung sowohl bei geringer als auch bei hoher Vergrößerung

Vielfältige hochauflösende Oberflächenanalyse

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