Tête de mesure: Laser rouge à semi-conducteur VK-X1050

Modèle

VK-X1050

Type

tête de mesure

Grossissement total

Jusqu’à 28,800 x^*1

Champ d’observation (plage minimale)

De 11 à 7,398 µm

Cadence (vitesse de mesure du laser)

De 4 à 125 Hz, 7,900 Hz^*2

Principe de mesure

Système optique

Système optique à diaphragme confocal, variation de la mise au point

Élément récepteur de lumière

Détection 16 bits: photomultiplicateur, CMOS couleur haute définition

Méthode de balayage (pour les mesures standard et l’assemblage d’images)

Réglage automatique de la limite inférieure/supérieure, optimisation rapide de l’intensité lumineuse (AAGII) , fonction complémentaire pour intensité lumineuse insuffisamment réfléchie (double scan)

Mesure de hauteur

Résolution d’affichage

5 nm

Échelle linéaire

Plage dynamique

16 bits

Précision de répétition σ

Confocal laser

20 x, 40 nm; 50 x, 20 nm

Variation de la mise au point

5 x, 500 nm; 10 x, 100 nm; 20 x, 50 nm; 50 x, 30 nm

Plage d’acquisition des données de hauteur

0,7 millions de niveaux

Précision

0,2 + L /100 µm ou plus^*3

Mesure de largeur

Résolution d’affichage

10 nm

Précision de répétition 3σ

Confocal laser

20 x, 100 nm; 50 x, 50 nm

Variation de la mise au point

5 x, 400 nm; 10 x, 400 nm; 20 x, 120 nm; 50 x, 65 nm

Précision

±2 %^*3

Configuration de platine XY

Manuelle : Plage d’exploitation

70 mm x 70 mm

Motorisée : Plage d’exploitation

100 mm x 100 mm

Observation

Image observée

Image couleur CMOS haute définition Image couleur laser 16 bits confocale Système optique confocal avec filtre ND Image sous contraste interférentiel différentiel C-laser

Éclairage

Éclairage annulaire, éclairage coaxial

Source de lumière laser pour mesures

Longueur d’onde

Laser rouge à semi-conducteur, 661 nm

Puissance de sortie maximale

1 mW

Classe laser

Appareil à Laser de Classe 2 (IEC60825-1)

Alimentation électrique

Tension d’alimentation

100 à 240 Vc.a., 50/60 Hz

Consommation électrique

150 VA

Poids

Environ 13,0 kg