Système de mesure VK-X260K

Modèle

VK-X260K

Grossissement total

Jusqu'à 28000×^*1

Champ d’observation (plage minimale)

De 11 µm à 5400 µm

Cadence

vitesse de mesure du laser

De 4 à 120 Hz, 7,900 Hz^*2

Principe de mesure

Système optique

Système optique à diaphragme confocal

Élément récepteur de lumière

Photomultiplicateur, numérisation 16 bits

Méthode de balayage (pour les mesures standard et l’assemblage d’images)

Réglage automatique de la limite inférieure/supérieure, optimisation rapide de l'intensité lumineuse (AAGII),
fonction complémentaire pour intensité lumineuse insuffisamment réfléchie (double scan)

Mesure de hauteur

Résolution Z

0,5 nm

Échelle linéaire

Plage dynamique (largeur prise en charge pour une lumière réfléchie de la pièce à usiner)

16 bits

Précision de répétition σ

20× : 40 nm, 50× : 12 nm, 150× : 12 nm^*3

Mémoire pour mesure d’axe Z

14 millions de niveaux

Précision

0,2 + L/100 µm ou plus^*4*5

Configuration de platine Z

Structure

Structure avec tête de mesure détachable

Hauteur maximale de la cible

28 mm, 128 mm (en option)

Mesure de largeur

Résolution de l’écran

1 nm

Précision de répétition 3σ

20× : 100 nm, 50× : 40 nm, 150× : 20 nm^*3

Précision

± 2 %^*3

Configuration de platine XY

Manuelle : Plage d’exploitation

70 mm×70 mm

Motorisée : Plage d’exploitation

50 mm × 50 mm, 100 mm × 100 mm^*6

Observation

Image observée

Image couleur CCD haute résolution
Image couleur laser 16 bits confocale
Système optique confocal avec filtre ND
IMAGE CID C-laser

Résolution maximale de l’enregistrement

3072×2304

Source de lumière laser pour mesures

Longueur d’onde

Laser violet, 408 nm

Puissance de sortie maximale

0,95 mW

Classe laser

Appareil à Laser de Classe 2 (DIN EN60825-1)

Poids

Microscope

Environ 26 kg (sans tête de mesure, environ 10 kg)

Commande

Environ 11 kg