Système de mesure VK-X130K

Modèle

VK-X130K

Grossissement total

Jusqu'à 28000×^*1

Champ d’observation (plage minimale)

De 16 µm à 5400 µm

Cadence

vitesse de mesure du laser

De 4 à 120 Hz, 7,900 Hz^*2

Principe de mesure

Système optique

Système optique à diaphragme confocal

Élément récepteur de lumière

Photomultiplicateur, numérisation 16 bits

Méthode de balayage (pour les mesures standard et l’assemblage d’images)

Réglage automatique de la limite inférieure/supérieure, optimisation rapide de l'intensité lumineuse (AAGII),
fonction complémentaire pour intensité lumineuse insuffisamment réfléchie (double scan)

Mesure de hauteur

Résolution Z

5 nm

Échelle linéaire

Plage dynamique (largeur prise en charge pour une lumière réfléchie de la pièce à usiner)

16 bits

Précision de répétition σ

20× : 40 nm, 50× : 20 nm, 100× : 20 nm^*3

Mémoire pour mesure d’axe Z

1,4 millions de niveaux

Précision

0,2 + L/100 µm ou plus^*4*5

Configuration de platine Z

Structure

Structure avec tête de mesure détachable

Hauteur maximale de la cible

28 mm, 128 mm (en option)

Mesure de largeur

Résolution de l’écran

10 nm

Précision de répétition 3σ

20× : 100 nm, 50× : 50 nm, 100× : 30 nm^*3

Précision

± 2 %^*3

Configuration de platine XY

Manuelle : Plage d’exploitation

70 mm×70 mm

Motorisée : Plage d’exploitation

50 mm × 50 mm, 100 mm × 100 mm^*6

Observation

Image observée

Image couleur CCD haute résolution
Image couleur laser 16 bits confocale
Système optique confocal avec filtre ND
IMAGE CID C-laser

Résolution maximale de l’enregistrement

3072×2304

Source de lumière laser pour mesures

Longueur d’onde

Laser rouge à semi-conducteur, 658 nm

Puissance de sortie maximale

0,95 mW

Classe laser

Appareil à Laser de Classe 2 (DIN EN60825-1)

Poids

Microscope

Environ 25 kg (sans tête de mesure, environ 8,5 kg)

Commande

Environ 11 kg