Contrôleur VK-X3000

VK-X3000 - Contrôleur

*Veuillez noter que les accessoires représentés dans l'image sont uniquement à des fins d'illustration et peuvent ne pas être inclus avec le produit.

Fiche technique (PDF)

Spécifications

Modèle		VK-X3000
Type		Contrôleur
Grossissement total		42× à 28800×^*1
Champ de vision		11 à 7398 μm
Principe de mesure		Balayage laser confocal, variation de la mise au point, interférométrie en lumière blanche, interférence spectrale
Longueur d’onde du laser		VK-X3100: Laser à semi-conducteur, 404 nm VK-X3050: Laser à semi-conducteur, 661 nm
Vitesse de mesure laser max.		Surface : 125 Hz, Ligne : 7900 Hz^*2
Puissance laser max.		1,0 mW
Classe laser		Classe 2 (IEC60825-1)
Élément récepteur de lumière laser		Photomultiplicateur 16 bits
Source lumineuse blanche		LED blanche
Élément récepteur de lumière blanche		CMOS couleur haute définition
Balayage laser confocal	Résolution d’affichage de la hauteur	VK-X3100: 0,1 nm VK-X3050: 1 nm
	Répétabilité de la hauteur σ	VK-X3100: 10× : 100 nm, 20× : 40 nm, 50× : 12 nm VK-X3050: 10× : 100 nm, 20× : 40 nm, 50× : 20 nm
	Précision de la hauteur	0,2+L/100 μm max.^*3
	Résolution d’affichage de la largeur	VK-X3100: 0,1 nm VK-X3050: 1 nm
	Répétabilité de la largeur 3σ	VK-X3100: 10× : 200 nm, 20× : 100 nm, 50× : 40 nm VK-X3050: 10× : 400 nm, 20× : 100 nm, 50× : 50 nm
	Précision de la largeur	Valeur mesurée ±2% max.^*3
Variation de la mise au point	Résolution d’affichage de la hauteur	VK-X3100: 0,1 nm VK-X3050: 1 nm
	Répétabilité de la hauteur σ	VK-X3100: 5× : 500 nm, 10× : 100 nm, 20× : 50 nm, 50× : 20 nm VK-X3050: 5× : 500 nm, 10× : 100 nm, 20× : 50 nm, 50× : 30 nm
	Précision de la hauteur	0,2+L/100 μm max.^*3
	Résolution d’affichage de la largeur	VK-X3100: 0,1 nm VK-X3050: 1 nm
	Répétabilité de la largeur 3σ	VK-X3100: 5× : 400 nm, 10× : 400 nm, 20× : 120 nm, 50× : 50 nm VK-X3050: 5× : 400 nm, 10× : 400 nm, 20× : 120 nm, 50× : 65 nm
	Précision de la largeur	Valeur mesurée ±2% max.^*3
Interférométrie en lumière blanche	Résolution d’affichage de la hauteur	0,01 nm
	Résolution d’affichage de la largeur	0,1 nm
	Répétabilité de la topographie de surface	0,08 nm^*4
	Répétabilité de RMS	0,008 nm^*4
Mesure de l’épaisseur d’un film par interférence spectrale	Répétabilité σ	0,1 nm^*4
	Précision	±0,6%^*4
Observation optique	Nombre de pixels	5,6 millions
	Barillet	Barillet électrique 6 trous
	Objectif à éclairage annulaire	2,5×, 5×, 10×
	Zoom optique	1 à 8×
Configuration de platine XY	Plage de déplacement manuel	70 mm × 70 mm
	Plage de déplacement motorisé	100 mm × 100 mm
Alimentation électrique	Tension d’alimentation	100 à 240 Vc.a., 50/60 Hz
	Consommation électrique	150 VA
Résistance à l'environnement	Température ambiante	+15 à 28°C
	Humidité relative	20 à 80% HR (pas de condensation)
Poids		Environ 3 kg
^1 Affichage plein écran de 23 pouces. ^2 À la vitesse maximale et en utilisant une combinaison mode de mesure/qualité de mesure/grossissement d’objectif. Avec un intervalle de mesure par balayage linéaire de l’ordre de 0,1 μm. ^3 En cas de mesure d’un échantillon standard avec un objectif 20× ou supérieur. ^4 Valeurs typiques sous conditions de mesure par défaut.

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