Mesure de la position/vibration d’une pince robotique

Lors du transfert des wafers, il est essentiel d’attendre que cessent les vibrations résiduelles de la pince, dues à l’arrêt du robot, avant de démarrer le processus suivant. L’utilisation d’un capteur de déplacement à laser pour vérifier la parfaite immobilité de la pince peut contribuer à prévenir tout dysfonctionnement de l’équipement et tout défaut de traitement au cours du processus suivant.