Afin d’observer des cibles très réfléchissantes, telles que des métaux, plastiques ou semi-conducteurs, l’éclairage oblique ne suffit pas car seule une partie de la lumière réfléchie atteint l’objectif.
Or, l’observation de l’éclat ou de la texture d’une cible nécessite la réception de la totalité de la lumière réfléchie. Comme le montre l’illustration ci-dessous, l’éclairage incident émis depuis l’objectif est appelé éclairage vertical coaxial. Pour ce type d’éclairage, un semi-miroir est utilisé afin d’aligner l’axe lumineux éclairant la cible avec l’axe de l’objectif.
Glossaire de la Microscopie