Multiszenzoros mérőrendszer
LM-X sorozat
Fej Érintőszondás modell LM-X100T
*Felhívjuk figyelmét, hogy a képen látható tartozékok csak illusztrációs célokat szolgálnak, és nem feltétlenül tartoznak a termékhez.
Specifikációk
modell | LM-X100T | |||
Típus | Fej | |||
Képszenzor | 1”-es, 20 megapixeles monokróm CMOS | |||
Fényérzékelő objektív | Dupla telecentrikus lencse | |||
Képmérés | Látómező | Széles látómezős mérési mód | 325 mm × 175 mm | |
Nagy pontosságú mérési mód | 306 mm × 156 mm | |||
Minimális kijelzési egység | 0,1 μm | |||
Ismételhetőség | A kamera látómezőjében (2σ) | Széles látómezős mérési mód | ±0,5 μm | |
Nagy pontosságú mérési mód | ±0,1 μm | |||
Tárgyasztal mozgásával | X/Y tengely (E1) | ±0,9 μm | ||
X/Y sík (E2) | ||||
Mérési pontosság | A kamera látómezőjében (2σ) | Széles látómezős mérési mód | ±2 μm *1 | |
Nagy pontosságú mérési mód | ±0,7 μm *2 | |||
Measurement accuracy | Tárgyasztal mozgásával | X/Y tengely (E1) | ±(1,8 + 0,02 L) μm *3 | |
X/Y sík (E2) | ±(2,8 + 0,02 L) μm *3 | |||
Magasság mérése | Ismételhetőség | ±2 μm | ||
Mérési pontosság | ±(4,8 + 0,04 L) μm *4 | |||
Érintőszondás mérés | Mérhető tartomány (X/Y) | 248 mm × 141 mm | ||
Mérőerő | 0,015 N *5 | |||
Legkisebb megjeleníthető egység | 0,1 μm | |||
Ismételhetőség | X/Y tengely | ±1,4 μm | ||
X/Y sík | ||||
Z tengely | ||||
Mérési pontosság | X/Y tengely (EUX,MPE EUY,MPE) | ±(2,8 + 0,02 L) μm *6 | ||
X/Y sík (EUXY,MPE) | ±(3,8 + 0,02 L) μm *6 | |||
Z tengely (EUZ,MPE) | ±(4,8 + 0,04 L) μm *4 | |||
Külső távirányító bemenete | Nem-feszültség bemenet (érintkezéssel és anélkül) | |||
Külső kimenet | OK/NG/FAIL/MEAS. | PhotoMOS kimenet | ||
Világító rendszer | Átmenő | Telecentrikus átmenő zöld LED-es megvilágítás | ||
Gyűrű | Négyosztású, többszögű, színes/fehér LED-es megvilágítás (elektromos) | |||
Külső fényforrás-vezérlés | Fényerő-szabályozó | PWM vezérlés, 100 kHz | ||
Kimeneti feszültség | 12 VDC | |||
Kimeneti áramerősség | 1,6 A (max.) | |||
XY tárgyasztal | Mozgási tartomány | 300 mm × 150 mm | ||
Terhelési ellenállás | 7 kg | |||
Z állvány | Mozgási tartomány | 75 mm (elektromos) | ||
Tápellátás | Tápfeszültség | 100–240 VAC ±10% (50/60 Hz) | ||
Energiafogyasztás | Legfeljebb 150 VA | |||
Környezeti hatások elleni védettség | Környezeti hőmérséklet | +10–35°C *7 | ||
Relatív páratartalom | 20–80% RH (nincs kondenzáció) | |||
Túlfeszültség kategória | ll | |||
Környezetszennyezési mérték | 2 | |||
Tömeg | Kb. 34 kg | |||
*1 20 mm × 20 mm-es tartományban a +23°C ±1°C-os működési környezeti hőmérséklet-tartományon belül az élesre állított fókuszpont helyzeténél | ||||