3D lézeres, konfokális pásztázó mikroszkóp

VK-X sorozat

Ez a modell megszűnt.
A tanúsítási szabványnak való megfelelés a társaságunktól történő szállítás idején biztosított.

Mérőegység VK-X130K

VK-X130K - Mérőegység

*Felhívjuk figyelmét, hogy a képen látható tartozékok csak illusztrációs célokat szolgálnak, és nem feltétlenül tartoznak a termékhez.

Specifikációk

modell		VK-X130K
Teljes nagyítás		Legfeljebb 19200×^*1
Látómező (minimális tartomány)		16–5400 µm
Képfrissítés	Lézeres mérési sebesség	4–120 Hz 7900 Hz^*2
Magasság mérése	Lineáris skála	5 nm
	Ismételhetőség σ	20×: 40 nm, 50×: 20 nm, 100×: 20 nm^*3
	Memória Z-tengely méréséhez	1,4 millió lépés
	Pontosság	0,2 + L /100 µm vagy jobb^4^5
Szélesség mérése	Kijelzési felbontás	10 nm
Távolságmérés	Ismételhetőség 3σ	20×: 100 nm, 50×: 50 nm, 100×: 30 nm^*3
Szélesség mérése	Pontosság	±2%^*3
XY asztali konfiguráció	Manuális: működési tartomány	70 mm × 70 mm
	Motorizált: működési tartomány	50 × 50 mm, 100 × 100 mm^*6
Megfigyelés	Maximális rögzítési felbontás	3072×2304
Súly	Mikroszkóp	Kb. 25 kg (szenzorfej nélkül: kb. 8,5 kg)
	Vezérlő	Kb. 11 kg
^1 23 hüvelykes monitorral. ^2 Maximális sebességen a mérési mód/mérési minőség/lencsenagyítás kombinációjának használatakor. Amikor a sorletapogató kamera 0,1 µm mérési távolságon belül van. ^3 A referenciaskála 20-szoros (vagy nagyobb) objektívlencsével való, 20 ± 2 °C-os környezeti hőmérséklet melletti mérése esetén. A VK-X120/X130 kivételével 100× objektívlencsével. ^4 A referenciaskála 20-szoros (vagy nagyobb) objektívlencsével való, 20 ±2 °C-os környezeti hőmérséklet melletti mérése esetén. A VK-X120/X130 kivételével a 100x objektív lencsével. ^5 L = függőleges mérési hossz µm-ben ^6 Mozgó tárgyasztallal.