Halfgeleider

De detectie van waferinkepingen met een 2D-laserprofielmeter elimineert het risico dat de inkeping wordt gemist wanneer de wafer iets gekromd is.

De afstand van zaagdraden kan verschillen afhankelijk van de temperatuur en de vorm van de hoofdrol. Met regelmatige afstandsmetingen kan men eenvoudig zien wanneer de rollen moeten worden vervangen.

Verminder reactief onderhoud door de dikte van verzaagmessen met regelmatige tussenpozen te controleren. Als u vaker controleert, kunt u afgebroken randen in de dunne messen detecteren voordat ze falen. Door twee confocale sensoren tegenover elkaar te plaatsen, kunt u de dikte rondom de mesrand betrouwbaar meten zonder schade te veroorzaken.

Door de beginpositie van de eindeffector in de gaten te houden, kunt u minuscule veranderingen detecteren voordat de wafer en waterdrager tegen elkaar botsen. Met behulp van een langeafstandssensor kunt de positie van de eindeffector via een kijkpoort worden gemeten.

Meet het profiel van een waferrand. Door de inspectiehulpmiddelen zoals hoogteverschil/breedte of hoek te selecteren, kunnen gebruikers gemakkelijk met meten starten. De beeldopname met hoge resolutie en 3200 punten per profiel levert een zeer nauwkeurige profielmeting die met conventionele methoden onmogelijk was.

Dankzij de kleine meetkop kunnen sensoren uit de CL-3000-reeks eenvoudig op apparatuur worden geïnstalleerd voor nauwkeurige afstandsmetingen. De sensor kan zowel diffuse als gespiegelde oppervlakken nauwkeurig meten, zonder dat de bevestiging moet worden gewijzigd.

Met de speciale sensorkop gecombineerd met de optische asuitlijning kunnen zeer nauwkeurige diktemetingen eenvoudig worden uitgevoerd voor alle objecten. Dit biedt stabiele metingen zelfs van wafers met ruwe oppervlakken.

Sterk glanzende groeven zijn vaak moeilijk te inspecteren met contactloze meetinstrumenten vanwege diffuse reflecties en andere factoren. De LJ-X-reeks is echter uitgerust met unieke functies waarmee dergelijke effecten kunnen worden onderdrukt en stabiele vormmetingen mogelijk zijn.