Konfokalny mikroskop do skanowania laserowego 3D
Seria VK-X
Skontaktuj się z nami: +48 (0) 71 36861 60 Formularz zapytania
Jednostka pomiarowa VK-X130K
*Należy pamiętać, że akcesoria przedstawione na zdjęciu służą wyłącznie do celów ilustracyjnych i mogą nie być dołączone do produktu.
Dane techniczne
Model | VK-X130K | |||
Powiększenie całkowite | Do 19 200×*1 | |||
Pole widzenia (minimalny zakres) | Od 16 do 5400 µm | |||
Liczba klatek na sekundę | Prędkość pomiaru laserowego | 4–120 Hz, 7900 Hz*2 | ||
Pomiar wysokości | Skala liniowa | 5 nm | ||
Powtarzalność σ | 20×: 40 nm, 50×: 20 nm, 100×: 20 nm*3 | |||
Pamięć pomiarów na osi Z | 1,4 mln kroków | |||
Dokładność | 0,2 + L/100 µm lub lepiej*4*5 | |||
Pomiar szerokości | Rozdzielczość wyświetlacza | 10 nm | ||
Powtarzalność 3σ | 20×: 100 nm, 50×: 50 nm, 100×: 30 nm*3 | |||
Dokładność | ±2%*6 | |||
Konfiguracja stolika XY | Ręczny: Zakres roboczy | 70 mm × 70 mm | ||
Napędzany: Zakres roboczy | 50 × 50 mm, 100 × 100 mm*7 | |||
Obserwacja | Maksymalna rozdzielczość rejestrowania | 3072×2304 | ||
Masa | Mikroskop | Ok. 25 kg (bez głowicy czujnika, ok. 8,5 kg) | ||
Sterownik | Ok. 11 kg | |||
*1 Z 23-calowym monitorem. |