Głowica pomiarowa VK-X3050

VK-X3050 - Głowica pomiarowa

*Należy pamiętać, że akcesoria przedstawione na zdjęciu służą wyłącznie do celów ilustracyjnych i mogą nie być dołączone do produktu.

Arkusz danych (PDF)

Dane techniczne

Model		VK-X3050
Typ		Głowica pomiarowa
Powiększenie całkowite		Od 42× do 28800×^*1
Pole widzenia		Od 11 do 7398 μm
Zasada działania		Metoda laserowa konfokalna, Zmienność ostrości, Interferometria w świetle białym, Interferencja spektralna
Długość fali lasera		Laser półprzewodnikowy, 661 nm
Maks. prędkość pomiaru laserowego		Powierzchnia: 125 Hz, Linia: 7900 Hz^*2
Maks. moc wyjściowa lasera		0,9 mW
Klasa lasera		Klasa 2 (IEC60825-1)
Element odbierający światło lasera		16-bitowy fotopowielacz
Źródło światła białego		Biała dioda LED
Element odbierający światło białe		Kolorowa matryca CMOS o wysokiej rozdzielczości
Metoda laserowa konfokalna	Rozdzielczość wyświetlacza wysokości	1 nm
	Powtarzalność wysokości σ	10×: 100 nm, 20×: 40 nm, 50×: 20 nm
	Dokładność wysokości	0,2+L/100 μm lub mniej^*3
	Rozdzielczość wyświetlania XY	1 nm
	Powtarzalność szerokości 3σ	10×: 400 nm, 20×: 100 nm, 50×: 50 nm
	Dokładność szerokości	Zmierzona wartość ±2% lub mniej^*3
Zmienność ostrości	Rozdzielczość wyświetlacza wysokości	1 nm
	Powtarzalność wysokości σ	5×: 500 nm, 10×: 100 nm, 20×: 50 nm, 50×: 30 nm
	Dokładność wysokości	0,2+L/100 μm lub mniej^*3
	Rozdzielczość wyświetlania XY	1 nm
	Powtarzalność szerokości 3σ	5×: 400 nm, 10×: 400 nm, 20×: 120 nm, 50×: 65 nm
	Dokładność szerokości	Zmierzona wartość ±2% lub mniej^*3
Interferometria w świetle białym	Rozdzielczość wyświetlania wysokości	0,01 nm
	Rozdzielczość wyświetlania szerokości	0,1 nm
	Powtarzalność topografii powierzchni	0,08 nm^*4
	Powtarzalność RMS	0,008 nm^*4
Pomiar grubości folii w interferencji spektralnej	Powtarzalność σ	0,1 nm^*4
	Dokładność	±0,6%^*4
Obserwacja optyczna	Liczba pikseli	5,6 milionów
	Rewolwer	Rewolwer elektryczny z 6 otworami
	Obiektyw oświetlenia pierścieniowego	2,5×, 5×, 10×
	Zoom optyczny	Od 1 do 8×
Konfiguracja podstawy XY	Zakres obsługi ręcznej	70 mm × 70 mm
	Zakres obsługi zmotoryzowanej	100 mm × 100 mm
Zasilanie	Napięcie zasilania	Od 100 do 240 VAC, 50/60 Hz
	Pobór mocy	150 VA
Odporność na warunki otoczenia	Temperatura otoczenia	Od +15 do +28°C
	Wilgotność względna	Od 20 do 80% wzgl. wilg. pow. (brak kondensacji)
Masa		Około 13 kg
^1 W przypadku korzystania z 23-calowego wyświetlacza pełnoekranowego. ^2 Przy najwyższej prędkości przy zastosowaniu kombinacji trybu pomiaru/jakości pomiaru/powiększenia obiektywu. Gdy skok pomiaru skanowania liniowego mieści się w zakresie 0,1 μm. ^3 Podczas pomiaru próbki standardowej za pomocą obiektywu 20× lub większego. ^4 Typowe wartości w domyślnym środowisku pomiarowym.

Arkusz danych (PDF) Inne modele