W przeciwieństwie do typowych półprzewodników obsługujących dane, takich jak procesory i pamięć, półprzewodnikowe elementy mocy kontrolują energię elektryczną i są nazywane urządzeniami mocy. W tej sekcji przedstawiono przykłady wykorzystania mikroskopów cyfrowych do obserwacji i pomiaru półprzewodnikowych elementów mocy (urządzeń mocy).

Użycie mikroskopów cyfrowych do obserwacji i pomiarów półprzewodnikowych elementów mocy (urządzeń mocy)

Czym jest półprzewodnikowy element mocy?

Pomimo braku jasnej definicji, półprzewodniki, które kontrolują dużą ilość napięcia i prądu oraz mają prąd znamionowy 1 A lub większy, są ogólnie nazywane półprzewodnikowymi elementami mocy.

Funkcje półprzewodnikowych elementów mocy

Falownik:
Zamienia prąd stały (DC) na prąd zmienny (AC).
  • A: Falownik
  • a: Prąd stały
  • b: Prąd przemienny
Konwerter:
Zamienia prąd AC na prąd DC.
  • A: Konwerter
  • a: Prąd przemienny
  • b: Prąd stały
Konwersja częstotliwości:
Zamienia częstotliwość prądu przemiennego.
  • A: Konwersja częstotliwości
  • a: Prąd przemienny
Regulator:
Zamienia napięcie prądu stałego.
  • A: Regulator
  • a: Prąd stały

Typy półprzewodnikowych elementów mocy i ich charakterystyka

Dioda mocy

Funkcja: Prostowanie prądu
Diody mocy przewodzą prąd w jednym kierunku bez przełączania.

Tranzystor mocy

Funkcja: Przełączanie i wzmacnianie

Tyrystor
Tyrystory były pierwszymi dostępnymi tranzystorami mocy i charakteryzują się wysokim napięciem wytrzymywanym.
Tranzystor polowy MOS FET (Power Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor)
Tranzystory MOS FET charakteryzują się dużą szybkością i wysoką częstotliwością. Te tranzystory mocy są powszechnie stosowane w produktach o niskim zakresie napięcia wytrzymywanego do około 200 V. Typowymi produktami są urządzenia IT, w tym laptopy.
Tranzystor bipolarny z izolowaną bramką (IGBT)
Tranzystory IGBT charakteryzują się wysokim napięciem wytrzymywanym, dużą prędkością i wysoką częstotliwością. Te tranzystory mocy są powszechnie stosowane w produktach o średnim do wysokiego zakresie napięcia wytrzymywanego w granicach od 200 V wzwyż. Typowe produkty obejmują pojazdy elektryczne, hybrydowe i wagony kolejowe.

Przykłady użycia mikroskopów cyfrowych do obserwacji i pomiarów półprzewodnikowych elementów mocy (urządzeń mocy)

Oto najnowsze przykłady użycia mikroskopu cyfrowego 4K serii VHX firmy KEYENCE do przeprowadzania obserwacji i pomiarów półprzewodnikowych elementów mocy.

Pomiar 3D wgnieceń sondy na półprzewodniku mocy
1000×, doświetlacz współosiowy
Pomiar 3D wgnieceń sondy na tranzystorze IGBT
1000×, doświetlacz współosiowy

Obserwacja wadliwej części półprzewodnika mocy

Nieregularności powierzchni są wizualizowane w trybie efektu cienia optycznego, co pozwala na szybkie określenie, czy wadliwe obszary zostały spowodowane adhezją czy wgnieceniami.

200×, doświetlacz współosiowy
Obraz z trybem efektu cienia optycznego (mapa kolorów)

Obserwacja materiału do wafli do produkcji płytek półprzewodnikowych mocy

Korzystanie z funkcji usuwania odbicia pierścieniowego eliminuje odblaski z powierzchni.

100×, oświetlenie pierścieniowe, obraz normalny
Obraz po usunięciu odbicia pierścieniowego

Obserwacja wypełniaczy w żywicy do formowania półprzewodników mocy

Zastosowanie funkcji HDR poprawia kontrast, umożliwiając dokładny pomiar profilu wypełniaczy.

1000×, doświetlacz współosiowy + HDR
Obraz automatycznego pomiaru obszaru