Spolehlivá eliminace statické elektřiny v prostředí testování substrátových disků může být zajištěna instalací zpětnovazebního senzoru v blízkosti objektu, který umožní neustále monitorovat oblast objektu.
Statická elektřina může být rychle eliminována v široké oblasti. Při identifikaci příčiny problémů může pomoci zaznamenávání výsledků eliminace statické elektřiny při odlupování.
Použití vysokorychlostní eliminace statické elektřiny k zabránění vzniku výbojů při uvolňování matrice pomáhá omezit nutnost údržby, která by jinak u konvenčních zařízení byla nezbytná.
Díky vysoce přesné iontové rovnováze ±1 V lze zařízení bezpečně používat na jakémkoli pracovišti výroby polovodičů. V případě problému lze také z předchozích výsledků eliminace statické elektřiny identifikovat období, kterých se to týkalo.
Bezvzduchové a energeticky úsporné ionizátory pomáhají omezovat spotřebu vzduchu v závodu a zároveň zajišťují vysoce efektivní eliminaci statické elektřiny.
Instalace ionizátorů v místnostech se vzduchovými sprchami – kde je riziko vnesení cizorodých částic do čisté místnosti nejvyšší – pomáhá zlepšit účinnost odstraňování prachu.
Další informace vám poskytne společnost KEYENCE.