Controller IM-8000

^*1 In het bereik van ø80 mm, binnen het bereik van de omgevingstemperatuur van +23 ±1°C op het brandpunt.
^*2 In het bereik van 180 × 180 mm (4 × R40), binnen het bereik van de omgevingstemperatuur van +23 ±1°C op het brandpunt, en met een belasting van 2 kg of minder op de objecttafel. L is de hoeveelheid beweging van de objecttafel (in mm).
^*3 In het bereik van 280 × 180 mm (4 × R40), binnen het bereik van de omgevingstemperatuur van +23 ±1°C op het brandpunt en met een belasting die 3 kg of minder op de objecttafel weegt. L is de hoeveelheid beweging van de objecttafel (in mm).
^*4 In het bereik van ø20 mm, binnen het bereik van de omgevingstemperatuur van +23 ±1°C op het brandpunt.
^*5 In het bereik van 120 × 120 mm, binnen het bereik van de omgevingstemperatuur van +23 ±1°C op het brandpunt, en met een belasting die 2 kg of minder op de objecttafel weegt. L is de hoeveelheid beweging van de objecttafel (in mm).
^*6 In het bereik van 220 × 120 mm, binnen het bereik van de omgevingstemperatuur van +23 ±1°C op het brandpunt en met een belasting die 3 kg of minder op de objecttafel weegt. L is de mate van beweging van de objecttafel (in mm).
^*7 Binnen het bereik van L 18 mm × ø60 mm. Op het brandpunt, met het onderdeel in het midden van het gezichtsveld van de lens, en met de asrichting van het onderdeel in de horizontale richting van het gezichtsveld van de lens. Binnen het bereik van de omgevingstemperatuur van +23 ±1°C. D is de Y-richtingsafstand (in mm).
^*8 Binnen het bereik van L 118 mm × ø60 mm. Op het brandpunt, met het onderdeel in het midden van het gezichtsveld van de lens, en met de asrichting van het onderdeel in de horizontale richting van het gezichtsveld van de lens. Binnen het bereik van de omgevingstemperatuur van +23 ±1°C. D is de Y-richtingsafstand (in mm).
^*9 Binnen het bereik van L 218 mm × ø60 mm. Op het brandpunt, met het onderdeel in het midden van het gezichtsveld van de lens, en met de asrichting van het onderdeel in de horizontale richting van het gezichtsveld van de lens. Binnen het bereik van de omgevingstemperatuur van +23 ±1°C. D is de Y-richtingsafstand (in mm).
^*10 Binnen het bereik van L 6 mm × ø20 mm. Op het brandpunt, met het onderdeel in het midden van het gezichtsveld van de lens, en met de asrichting van het onderdeel in de horizontale richting van het gezichtsveld van de lens. Binnen het bereik van de omgevingstemperatuur van +23 ±1°C. D is de Y-richtingsafstand (in mm).
^*11 Binnen het bereik van L 106 mm × ø20 mm. Op het brandpunt, met het onderdeel in het midden van het gezichtsveld van de lens, en met de asrichting van het onderdeel in de horizontale richting van het gezichtsveld van de lens. Binnen het bereik van de omgevingstemperatuur van +23 ±1°C. D is de Y-richtingsafstand (in mm).
^*12 Binnen het bereik van L 206 mm × ø20 mm. Op het brandpunt, met het onderdeel in het midden van het gezichtsveld van de lens, en met de asrichting van het onderdeel in de horizontale richting van het gezichtsveld van de lens. Binnen het bereik van de omgevingstemperatuur van +23 ±1°C. D is de Y-richtingsafstand (in mm).
^*13 Wanneer het detectiesysteem standaard is. Als het detectiesysteem op een diepe positie staat, ±3 μm.
^*14 Als het detectiesysteem standaard is, binnen het omgevingstemperatuurbereik van +23 ±1°C, en met een belasting van 2 kg of minder op de objecttafel. Als het detectiesysteem op een diepe positie staat, ±(10 + 0,02 L) μm met L als meetlengte (in mm).
^*15 Als het detectiesysteem standaard is, binnen het omgevingstemperatuurbereik van +23 ±1°C, en met een belasting die 3 kg of minder op de objecttafel weegt. Als het detectiesysteem op een diepe positie staat, ±(10 + 0,02 L) μm met L als meetlengte (in mm).