Niezawodna eliminacja ładunków elektrostatycznych jest możliwa w środowiskach testowania wafli dzięki zainstalowaniu czujnika sprzężenia zwrotnego w pobliżu obiektu docelowego, aby umożliwić ciągłe monitorowanie obszaru docelowego.
Elektryczność statyczną można szybko wyeliminować z dużego obszaru. Rejestrowanie wyników eliminacji statycznej podczas odrywania umożliwia zidentyfikowanie przyczyny problemów.
Zastosowanie szybkiej eliminacji ładunków elektrostatycznych w celu zapobiegania wyładowaniom podczas usuwania matrycy pomaga ograniczyć konserwację, której w przeciwnym razie wymagałyby konwencjonalne urządzenia.
Dzięki efektywnemu balansowi jonów wynoszącemu ±1 V urządzenie może być bezpiecznie używane w dowolnym zakładzie produkującym półprzewodniki. Można również sprawdzić poprzednie wyniki eliminacji statycznej, aby zidentyfikować odpowiednie okresy w przypadku wystąpienia problemu.
Niewymagające powietrza i energooszczędne dejonizatory pomagają zmniejszyć zużycie powietrza w fabryce, zapewniając jednocześnie wysoką wydajność eliminacji ładunków elektrostatycznych.
Instalowanie dejonizatorów w natryskach powietrznych – gdzie ryzyko wprowadzenia obcych cząstek do czystego pomieszczenia jest największe – pomaga poprawić skuteczność usuwania kurzu.
Aby uzyskać więcej informacji, skontaktuj się z KEYENCE.