Koaxiális megvilágítás

Optikai megvilágítási technikák - Koaxiális megvilágítás

A lapos felületű, nagyon fényvisszaverő tárgyak, például IC-k és mintametszetek vizsgálata gyűrűs megvilágítással jellemzően nehezen kivitelezhető. Amikor a fény a felületre esik, annak nagy része nem a lencse irányába verődik vissza, és sötét képet eredményez. Helyette koaxiális (világos látóterű) megvilágítást alkalmaznak ilyen céltárgyak vizsgálatára, ami világos képet ad. Általában ez a fajta megvilágítás egy féltükröt használ, hogy a megvilágítás és a lencse optikai tengelyét egy vonalba hozza.

Tükröződő felületről visszaverődő fény sematikus ábrája
A szögben érkező fény visszaverődik a lencséről
A függőlegesen beeső fény a lencsére tükröződik
A
Lencse
B
Megvilágítás
C
Visszaverődő fény
Koaxiális megvilágítás sematikus ábrája
A
Megvilágítás
B
Lencse & CCD
C
Tükörreflexiós fény
D
Féltükör (a féltükör visszaveri a fény felét, és a többit átengedi)
E
Fényvisszaverő felület
Koaxiális megvilágítás mintaképei
Megmunkált fémfelület gyűrűs megvilágítással
Megmunkált fémfelület koaxiális megvilágítással
IC gyűrűs megvilágítással
IC koaxiális megvilágítással

TARTALOM