Pásztázó elektronmikroszkóp
SEM
Az elektronmikroszkópok egy típusa, amely a minta felületét elektronsugár alkalmazásával pásztázza. Ezek a rendszerek nagy felbontású és nagy mélységélességű képeket tudnak alkotni, és extrém nagy nagyítás elérésére is képesek. A SEM-eket opcionális elemanalizátorral lehet felszerelni a céltárgy kémiai összetételének meghatározásához.