Instrument de mesure de rugosité de surface
Divers outils de mesure sont disponibles sur le marché pour analyser et évaluer la rugosité de la surface et de la forme.
Cette section introduit les principes et les caractéristiques des instruments de mesure habituels avec contact (testeur de rugosité de surface et microscope à force atomique) et des instruments de mesure sans contact (interféromètre à lumière blanche et microscope à balayage laser).
| Méthode | Avec contact | Sans contact | ||
|---|---|---|---|---|
| Instrument de mesure | Testeur de rugosité avec contact | Microscope à force atomique (AFM) | Interféromètre à lumière blanche | Microscope confocal à balayage laser |
| Résolution de la mesure | 1 nm | < 0,01 nm | < 0,1 nm | 0,1 nm |
| Plage de mesure de la hauteur | jusqu'à 1 mm | < 10 μm | < à quelques mm | < 7 mm |
| Plage mesurable | quelques mm | 1 à 200 μm | 40 μm à 15 mm | 15 μm à 2,7 mm |
| Caractéristique angulaire | – | Médiocre | Correcte | Bonne |
| Résolution des données | – | VGA | VGA | SXGA |
| Positionnement du site de mesure | – | En option | Caméra optique intégrée | Caméra optique intégrée |
| Dommage pour les échantillons | Contact | Contact | Sans contact | Sans contact |
