Microscope à balayage laser 3D
| Avantages | Inconvénients |
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Un microscope à balayage laser 3D est un équipement d'observation/mesure qui permet à la fois la mesure 3D et l'observation en profondeur de la focale, en même temps. Il n'a pas de restrictions sur la taille ou la matière d'un échantillon et permet une observation dans des conditions environnementales normales. De plus, le microscope à balayage laser 3D permet une utilisation conviviale similaire à celle d'un microscope optique. Les échantillons ne nécessitent pas de prétraitement avant la mesure. L'observation peut être effectuée en couleurs, ce qui permet une analyse précise des conditions de l'objet cible. Un microscope à balayage laser 3D peut également être utilisé pour mesurer l'épaisseur de films, ainsi que pour observer la surface, l'intérieur, et l'arrière d'un objet translucide.
Bien que le microscope à balayage laser 3D soit meilleur qu'un microscope à balayage électronique ou qu'un microscope à force atomique en termes d'efficacité opérationnelle, il est inférieur en termes de grossissement d'observation et de résolution de la mesure. Les parties inférieures avec un rapport d'aspect élevé et des pentes avec de grands angles ne peuvent pas être mesurées ou observées, parce qu'elles ne reflètent pas le faisceau laser.
